Ontwikkeling van een driver en GUI voor geavanceerde lithografiemetrologie

Elie ontwikkelde een methode voor gegevensanalyse bij uniforme lithografiemetrologie, in het bijzonder gericht op procescontrole. De methode bestaat in het converteren van verschillende ruwe databestanden naar een tussenliggend XML-formaat. Het grote voordeel hiervan is dat slechts één visualisatiepakket is vereist. Omdat het XML-formaat niet rekenbladvriendelijk is, werd ook de mogelijkheid tot exporteren voorzien.